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Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。

PTZL系列直冷型制冷機(jī)適用于真空涂覆冷阱、半導(dǎo)體芯片測(cè)試、熱沉試驗(yàn)、低溫液浴，氣體捕集、藥品凍干等多種用途。

PTLQ系列氣體制冷機(jī)用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮?dú)?、氬氣等惰性氣體。